トリフルオロ酢酸(TFA)を用いるMetalorganic deposition(MOD)法によるYBCO成膜とプロセス条件

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  • トリフルオロ サクサン TFA オ モチイル Metalorganic deposition MOD ホウ ニ ヨル YBCOセイマク ト プロセス ジョウケン

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