多孔質セラミックスを用いた静圧空気ガイドに関する研究(第1報)静剛性の評価

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  • タコウシツ セラミックス オ モチイタ セイアツ クウキ ガイド ニ カンスル ケンキュウ ダイ1ポウ セイ ゴウセイ ノ ヒョウカ

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