アフィリエイト通信 精密工学会アフィリエイト 解説 博士論文 変調照明シフトによる光学式超解像欠陥計測に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- アフィリエイト ツウシン セイミツ コウガッカイ アフィリエイト カイセツ ハクシ ロンブン ヘンチョウ ショウメイ シフト ニ ヨル コウガクシキ チョウカイゾウ ケッカン ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
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収録刊行物
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 79 (10), 924-926, 2013-10
東京 : 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408731383552
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- NII論文ID
- 40019830646
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 024936995
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
