多層SiCN鋳型を用いたT型ゲート電極を持つInGaAs HEMT

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タイトル別名
  • タソウ SiCN イガタ オ モチイタ Tガタ ゲート デンキョク オ モツ InGaAs HEMT
  • InGaAs HEMTs with T-gate electrodes formed by multi-layer SiCN molds
  • マイクロ波
  • マイクロハ

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