選択MOVPE法を用いた極性・非極性GaNストライプ上へのInGaN/GaN MQW構造の作製

書誌事項

タイトル別名
  • センタク MOVPEホウ オ モチイタ キョクセイ ヒキョクセイ GaN ストライプ ジョウ エ ノ InGaN GaN MQW コウゾウ ノ サクセイ
  • MOVPE growth of InGaN/GaN MQW on a polar, semi-polar, and non-polar GaN stripes by selective MOVPE
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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