YAGレーザーを用いたパルスレーザーメルティング法による硫黄を過飽和ドープした結晶シリコンの作成
書誌事項
- タイトル別名
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- YAG レーザー オ モチイタ パルスレーザーメルティングホウ ニ ヨル イオウ オ カホウワ ドープ シタ ケッショウ シリコン ノ サクセイ
- Preparation of single crystalline silicon layer supersaturated with sulfur by pulsed YAG laser melting method
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収録刊行物
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- 甲南大学紀要. 理工学編 = Memoirs of Konan University. Science and engineering series / 甲南大学 編
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甲南大学紀要. 理工学編 = Memoirs of Konan University. Science and engineering series / 甲南大学 編 57 (1), 29-34, 2010
神戸 : 甲南大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408929802496
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- NII論文ID
- 110008429760
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- NII書誌ID
- AA11561231
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- ISSN
- 13480383
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- NDL書誌ID
- 11079175
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN