無電解銅めっきによる微細ホールのボトムアップ堆積
書誌事項
- タイトル別名
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- ムデンカイ ドウメッキ ニ ヨル ビサイ ホール ノ ボトムアップ タイセキ
- Bottom-up fill of Cu in ultra-fine holes by electroless plating
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収録刊行物
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- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
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マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 17 263-266, 2007-09
東京 : エレクトロニクス実装学会