単結晶SiC高能率複合研磨法の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- タンケッショウ SiC コウノウリツ フクゴウ ケンマホウ ノ カイハツ
- Development of new combined polishing process for single crystal silicon carbide
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収録刊行物
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- 砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC / 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)実行委員会 編
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砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC / 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)実行委員会 編 367-372, 2013
東京 : 砥粒加工学会