RFプラズマCVDによるヨウ素含有炭素の作製とその摩擦特性
書誌事項
- タイトル別名
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- RF プラズマ CVD ニ ヨル ヨウソ ガンユウ タンソ ノ サクセイ ト ソノ マサツ トクセイ
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収録刊行物
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- 千葉工業大学研究報告. 理工編
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千葉工業大学研究報告. 理工編 (51), 27-31, 2004
習志野 : 千葉工業大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408988286976
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- NII論文ID
- 110000254820
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- NII書誌ID
- AN00142534
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- ISSN
- 03857026
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- NDL書誌ID
- 6950740
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles