SSTAにおける空間的相関を持つ製造ばらつきのグリッドベースモデル化法の検討

書誌事項

タイトル別名
  • SSTA ニ オケル クウカンテキ ソウカン オ モツ セイゾウ バラツキ ノ グリッドベース モデルカホウ ノ ケントウ
  • A study of grid-based modeling of spatially correlated manufacturing variability for SSTA
  • VLSI設計技術
  • VLSI セッケイ ギジュツ

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