GaN単結晶基板の作製技術

書誌事項

タイトル別名
  • GaNタンケッショウ キバン ノ サクセイ ギジュツ
  • Fabrication technologies for freestanding GaN wafers
  • 特集 単結晶材料の育成技術と応用の新展開
  • トクシュウ タンケッショウ ザイリョウ ノ イクセイ ギジュツ ト オウヨウ ノ シン テンカイ

この論文をさがす

収録刊行物

参考文献 (11)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ