3次元デバイス創成のためのレーザ貫通孔加工における熱伝導解析
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 3ジゲン デバイス ソウセイ ノ タメ ノ レーザ カンツウコウ カコウ ニ オケル ネツ デンドウ カイセキ
Search this article
Journal
-
- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
-
マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 12 427-430, 2002-10
東京 : エレクトロニクス実装学会