招待講演 強い短チャネル効果耐性と闇値変調性を持つ極薄膜InAs-on-Insulator Tri-Gate MOSFET

書誌事項

タイトル別名
  • ショウタイ コウエン ツヨイ タンチャネル コウカ タイセイ ト ヤミネ ヘンチョウセイ オ モツ ゴクウスマク InAs-on-Insulator Tri-Gate MOSFET
  • High Performance Sub-20-nm-Channel-Length Extremely-Thin Body InAs-on-Insulator Tri-Gate MOSFETs with High Short Channel Effect Immunity and Vth Tunability
  • シリコン材料・デバイス 先端CMOSデバイス・プロセス技術(IEDM特集)
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス センタン CMOS デバイス ・ プロセス ギジュツ(IEDM トクシュウ)

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