電気めっきにより作製したCo/Cu多層膜の硬度と微視的構造の層厚さ依存性

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  • デンキメッキ ニ ヨリ サクセイ シタ Co Cu タソウ マク ノ コウド ト ビシテキ コウゾウ ノ ソウ アツサ イソンセイ
  • Layer thickness dependence of hardness and microstructure in electrodeposited Co/Cu multilayers

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