ラジカル窒化を用いた窒化物薄膜の複合硬化処理
書誌事項
- タイトル別名
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- ラジカル チッカ オ モチイタ チッカブツ ハクマク ノ フクゴウ コウカ ショリ
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収録刊行物
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- 千葉工業大学研究報告. 理工編
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千葉工業大学研究報告. 理工編 (53), 25-29, 2006
習志野 : 千葉工業大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009409369815808
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- NII論文ID
- 110004362167
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- NII書誌ID
- AN00142534
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- ISSN
- 03857026
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- NDL書誌ID
- 7885521
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles