書誌事項
- タイトル別名
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- カイセツ LSI マスク ウェハパターン ケンサ
- 特集 エレクトロニクスにおける非破壊検査
- トクシュウ エレクトロニクス ニ オケル ヒハカイ ケンサ
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収録刊行物
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- 非破壊検査 : Jjournal of the Japanese Society for Non-destructive Inspection / 日本非破壊検査協会 編
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非破壊検査 : Jjournal of the Japanese Society for Non-destructive Inspection / 日本非破壊検査協会 編 50 (5), 277-283, 2001-05
[東京] : 日本非破壊検査協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009409401308160
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- NII論文ID
- 10007391204
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- NII書誌ID
- AN00208370
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- ISSN
- 03675866
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- NDL書誌ID
- 5757554
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles