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MIM(Metal-Insulator-Metal)キャパシタを用いた混載DRAMデバイステクノロジー
Bibliographic Information
- Other Title
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- MIM Metal Insulator Metal キャパシタ オ モチイタ コンサイ DRAM デバイス テクノロジー
- Device technology for embedded DRAM utilizing stacked MIM (Metal-Insulator-Metal) capacitor
- 集積回路
- シュウセキ カイロ
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107 (1), 17-22, 2007-04
東京 : 電子情報通信学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009409422674688
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- NII Article ID
- 110006272858
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- NII Book ID
- AN10013276
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 8723339
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL Search
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