Gas cluster ion beam equipment and applications for surface processing
書誌事項
- 公開日
- 2008
- 公開者
- 姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
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収録刊行物
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- 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo
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兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 2008年度 83-100, 2008
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室