SU-8ナノ加工を用いた光操作ナノニードルの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- SU-8ナノ カコウ オ モチイタ ヒカリ ソウサ ナノニードル ノ カイハツ
- Development of optically-driven nanoneedles using SU-8 nanofabrication
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 6p-, 2020-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
