高電圧炭化ケイ素(SiC)pnダイオードのプロセス技術の開発--通電劣化抑制手法の基礎検討と高電圧SiC pnダイオードの試作

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  • コウデンアツ タンカ ケイソ SiC pn ダイオード ノ プロセス ギジュツ ノ カイハツ ツウデン レッカ ヨクセイ シュホウ ノ キソ ケントウ ト コウデンアツ SiC pn ダイオード ノ シサク

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