ナノインプリントリソグラフィーによる段差型高周波トランジスタタグの特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- ナノインプリントリソグラフィー ニ ヨル ダンサガタ コウシュウハ トランジスタタグ ノ トクセイ ヒョウカ
- Characterization of step-edge transistor tags fabricated by nanoimprint lithography
- 誘電・絶縁材料研究会・次世代エレクトロニクスのための界面評価と制御技術
- ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ ケンキュウカイ ・ ジセダイ エレクトロニクス ノ タメ ノ カイメン ヒョウカ ト セイギョ ギジュツ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. DEI
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電気学会研究会資料. DEI 2017 (14-23), 15-19, 2017-02-22
東京 : 電気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410005650048
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- NII論文ID
- 40021121505
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- NII書誌ID
- AN10388224
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- NDL書誌ID
- 028021955
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles