微動領域の特性を考慮した可変フィードバック制御系によるボールねじ駆動テーブル装置の高速・高精度位置決め

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  • ビドウ リョウイキ ノ トクセイ オ コウリョ シタ カヘン フィードバック セイギョケイ ニ ヨル ボールネジ クドウ テーブル ソウチ ノ コウソク ・ コウセイド イチギメ
  • Fast and Precise Positioning of Ball Screw-Driven Table System Using Variable Feedback Controller Considering System Characteristics in Microscopic Displacement Region
  • 産業計測制御研究会 : 産業計測制御一般
  • サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ : サンギョウ ケイソク セイギョ イッパン

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