表面形状学習型PTCに基づく原子間力顕微鏡のナノスケールサーボの提案

書誌事項

タイトル別名
  • ヒョウメン ケイジョウ ガクシュウガタ PTC ニ モトズク ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ ナノスケール サーボ ノ テイアン
  • Proposal of nanoscale servo system of atomic force microscope based on surface topography learning with PTC
  • 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
  • サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ケイソク センサ オウヨウ モーション コントロール ゼンパン

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