表面活性化ボンディング法により形成したSi/SiCヘテロ接合の電気特性

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  • ヒョウメン カッセイカ ボンディングホウ ニ ヨリ ケイセイ シタ Si/SiC ヘテロ セツゴウ ノ デンキ トクセイ
  • Electrical properties of Si/SiC heterojunctions fabricated using surface-activated bonding
  • レーザ・量子エレクトロニクス
  • レーザ ・ リョウシ エレクトロニクス

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