Power Potential法則に基づいたイオンビームスパッタリングのエネルギー損失の電圧依存カーブ〔英文〕
書誌事項
- タイトル別名
-
- Power Potential ホウソク ニ モトズイタ イオン ビーム スパ
この論文をさがす
抄録
記事分類: 金属工学・鉱山工学--金属加工--表面処理
収録刊行物
-
- 工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University
-
工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University (63), p122-130, 1987-10
東京 : 工学院大学
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009410181867008
-
- NII論文ID
- 120007153077
-
- NII書誌ID
- AN00080357
-
- ISSN
- 03685098
-
- NDL書誌ID
- 3157958
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles