ダイナミックミキシング法によるTiN膜の電気伝導度
書誌事項
- タイトル別名
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- ダイナミック ミキシングホウ ニ ヨル TiN マク ノ デンキ デンドウド
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抄録
記事分類: 電気工学--電気材料・部品
収録刊行物
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- 工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University
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工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University (63), p180-183, 1987-10
東京 : 工学院大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410221710976
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- NII論文ID
- 40001176704
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- NII書誌ID
- AN00080357
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- ISSN
- 03685098
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- NDL書誌ID
- 3154584
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles