InP液相成長における液相エッチングの最適化
書誌事項
- タイトル別名
-
- InP エキソウ セイチョウ ニ オケル エキソウ エッチング ノ サイテキカ
この論文をさがす
抄録
記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路
収録刊行物
-
- 千葉大学工学部研究報告 / 千葉大学工学部 編
-
千葉大学工学部研究報告 / 千葉大学工学部 編 35 (1), p63-71, 1983-09
千葉 : 千葉大学工学部
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009410222527488
-
- NII論文ID
- 40002366864
-
- NII書誌ID
- AN00142851
-
- ISSN
- 05776848
-
- NDL書誌ID
- 2604354
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles