3-5族化合物半導体気相成長プロセスの解明--実験とシミュレーション

Web Site 28 References

Bibliographic Information

Other Title
  • 3 5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ キソウ セイチョウ プロセス ノ カイメ

Search this article

Abstract

記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

Journal

  • 応用物理

    応用物理 62 (8), p786-791, 1993-08

    東京 : 応用物理学会

References(28)*help

See more

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top