ULSIの微細化と多層配線技術への課題
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ULSI ノ ビサイカ ト タソウ ハイセン ギジュツ エ ノ カダイ
Search this article
Journal
-
- 応用物理
-
応用物理 68 (11), 1215-1225, 1999-11
東京 : 応用物理学会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009410248858624
-
- NII Article ID
- 10004651031
-
- NII Book ID
- AN00026679
-
- ISSN
- 03698009
-
- NDL BIB ID
- 4897315
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
