原子層エピタキシャル法による結晶成長

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  • ゲンシソウ エピタキシャルホウ ニ ヨル ケッショウ セイチョウ

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記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

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  • 応用物理

    応用物理 53 (6), p516-520, 1984-06

    東京 : 応用物理学会

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