原子的尺度で見たシリサイド/シリコン界面の構造と性質--ショットキー障壁の問題を中心として

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  • ゲンシテキ シャクド デ ミタ シリサイド シリコン カイメン ノ コウゾウ

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記事分類: 物理学--分子・物性

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 56 (3), p311-331, 1987-03

    東京 : 応用物理学会

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