シリコン窒化膜の最近の研究

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  • シリコン チッカ マク ノ サイキン ノ ケンキュウ

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抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 54 (12), p1250-1266, 1985-12

    東京 : 応用物理学会

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