局所摂動パターンマッチング法によるLSIウェーハパターンの精密外観検査
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- Other Title
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- キョクショ セツドウ パターン マッチングホウ ニ ヨル LSI ウェーハ パ
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Abstract
記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路
Journal
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- 電子情報通信学会論文誌. D-2, 情報・システム. 2, パターン処理 = The IEICE transactions on information and systems. Pt. 2 / 電子情報通信学会 編
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電子情報通信学会論文誌. D-2, 情報・システム. 2, パターン処理 = The IEICE transactions on information and systems. Pt. 2 / 電子情報通信学会 編 72 (12), p2041-2050, 1989-12
東京 : 電子情報通信学会情報・システムソサイエティ
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410273234560
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- NII Article ID
- 40004782092
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- NII Book ID
- AN1007132X
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- ISSN
- 09151923
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- NDL BIB ID
- 3257479
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
