書誌事項
- タイトル別名
-
- チョウコウアツ デンシ ケンビキョウホウ ニヨル LSI アルミニウム ハイセ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編
-
電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 32 (1), 11-16, 1997-03
東京 : 日本顕微鏡学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009410290022528
-
- NII論文ID
- 10002641112
-
- NII書誌ID
- AN00153086
-
- ISSN
- 04170326
-
- NDL書誌ID
- 4193657
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles