アークイオンプレーティング法により作製したTiN,CrNおよびTiAlN膜の高温酸化特性

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タイトル別名
  • アーク イオン プレーティングホウ ニ ヨリ サクセイシタ TiN CrN オ
  • 素材小特集-4-界面反応と材料特性
  • ソザイ ショウ トクシュウ 4 カイメン ハンノウ ト ザイリョウ トクセイ

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