電子デバイス用材料の微小領域分析・計測--極限への挑戦<特集>
書誌事項
- タイトル別名
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- デンシ デバイスヨウ ザイリョウ ノ ビショウ リョウイキ ブンセキ ケイソク
- 公開日
- 1995-07
- 公開者
- 仙台 : 日本金属学会 ; 1994-
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説明
記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
収録刊行物
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- まてりあ = Materia Japan
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まてりあ = Materia Japan 34 (7), p825-904, 1995-07
仙台 : 日本金属学会 ; 1994-
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410337189888
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- NII論文ID
- 40005037454
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- NII書誌ID
- AN10433227
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- ISSN
- 13402625
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- NDL書誌ID
- 3626717
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles