MOCVD原料としての高純度〔Ti(dpm)2(i-C3H7O)2〕の合成
Bibliographic Information
- Other Title
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- MOCVD ゲンリョウ トシテノ コウ ジュンド Ti dpm 2 i C3H
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記事分類: 化学・化学工業--錯体化学
Journal
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- 日本化学会誌 : 化学と工業化学 / 日本化学会 編
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日本化学会誌 : 化学と工業化学 / 日本化学会 編 1993 (4), p404-407, 1993-04
東京 : 日本化学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410361145984
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- NII Article ID
- 10006665161
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- NII Book ID
- AN00186595
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- ISSN
- 03694577
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- NDL BIB ID
- 3825335
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles