大口径SiCバルク結晶成長における主要技術とプロセス・インフォマティクスの活用
Bibliographic Information
- Other Title
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- ダイコウケイ SiC バルク ケッショウ セイチョウ ニ オケル シュヨウ ギジュツ ト プロセス ・ インフォマティクス ノ カツヨウ
- Technologies for large-diameter SiC crystal growth and application of process informatics
- 特集 ワイドバンドギャップ材料の結晶成長の最前線
- トクシュウ ワイドバンドギャップ ザイリョウ ノ ケッショウ セイチョウ ノ サイゼンセン
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Journal
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- 日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
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日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 48 (3), 1-8, 2021
東京 : 日本結晶成長学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410372701312
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- NII Article ID
- 40022729399
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- NII Book ID
- AA12677650
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- ISSN
- 21887268
- 03856275
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- NDL BIB ID
- 031776682
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
