ミリ波(50GHz)平面波定在波を用いた誘電体膜厚・誘電率および金属膜厚の測定
書誌事項
- タイトル別名
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- ミリハ 50GHz ヘイメンハ テイザイハ オ モチイタ ユウデンタイ マクア
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抄録
記事分類: 測定・測定器
収録刊行物
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- 高松工業高等専門学校研究紀要
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高松工業高等専門学校研究紀要 (28), p71-74, 1992
高松 : 高松工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410432461056
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- NII論文ID
- 110000253905
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- NII書誌ID
- AN00138763
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- ISSN
- 03899268
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- NDL書誌ID
- 3818548
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles