書誌事項
- タイトル別名
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- ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル GaNケイ カゴウブツ ハンドウタイ セイチョウ ニ タイスル NH3 ガスチュウ ノ スイブン ノ エイキョウ On Site フジュンブツ ブンセキ ギジュツ ノ カクリツ ト NH3 ガス セイセイ ソウチ ノ ユウコウセイ
- Effects of moisture impurities in NH3 gas on nitride-semiconductor films grown by metal organic vapor phase epitaxy: establishment of on-site analysis technology and usefulness of NH3 gas purification system
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説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
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- 大陽日酸技報
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大陽日酸技報 (26), 1-6, 2007
東京 : 大陽日酸技術本部技報編集事務局