半導体MEMSを用いた近接覚・触覚コンボセンサ
書誌事項
- タイトル別名
-
- ハンドウタイ MEMS オ モチイタ キンセツカク ・ ショッカク コンボセンサ
- 特集 先端計測技術開発の展望
- トクシュウ センタン ケイソク ギジュツ カイハツ ノ テンボウ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering
-
ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 60 (9), 653-659, 2015-09
川崎 : 化学工業社
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520010380599621632
-
- NII論文ID
- 40020571188
-
- NII書誌ID
- AN00074423
-
- ISSN
- 03871037
-
- NDL書誌ID
- 026699771
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles