加工編 サファイア基板の超音波研削加工による小径微細穴加工技術
書誌事項
- タイトル別名
-
- カコウヘン サファイア キバン ノ チョウオンパ ケンサク カコウ ニ ヨル ショウケイ ビサイ アナカコウ ギジュツ
- 特集 精密・微小径穴あけ加工の最新技術をさぐる
- トクシュウ セイミツ ・ ビョウショウケイ アナアケ カコウ ノ サイシン ギジュツ オ サグル
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 機械技術 = Mechanical engineering
-
機械技術 = Mechanical engineering 61 (11), 58-61, 2013-11
東京 : 日刊工業新聞社
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520010380774089856
-
- NII論文ID
- 40019838305
-
- NII書誌ID
- AN00365539
-
- ISSN
- 04519396
-
- NDL書誌ID
- 024950463
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles