微細加工用レジスト
書誌事項
- タイトル別名
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- ビサイ カコウヨウ レジスト
- いまケイ素の時代!<特集> ; 先端分野で活躍するシリコン
- イマ ケイソ ノ ジダイ トクシュウ ; センタン ブンヤ デ カツヤクスル シリコン
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 化学 = Chemistry
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化学 = Chemistry 39 (9), p593-595, 1984-09
京都 : 化学同人
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520010380894674688
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- NII論文ID
- 40000389968
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- NII書誌ID
- AN0003680X
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- ISSN
- 04511964
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- NDL書誌ID
- 2996021
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles