光電界電離を用いる真空紫外アルゴンエキシマレーザー
書誌事項
- タイトル別名
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- ヒカリ デンカイ デンリ オ モチイル シンクウ シガイ アルゴン エキシマレーザー
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収録刊行物
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- 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編
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光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 15 (3), 8-12, 2004-03
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520010380916781312
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- NII論文ID
- 40006213327
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- NII書誌ID
- AA11758790
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- ISSN
- 0917026X
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- NDL書誌ID
- 6877749
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
