プラズマイオン注入成膜法による耐腐食性及び耐摩耗性に優れたDLC膜の開発

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タイトル別名
  • プラズマイオン チュウニュウセイマクホウ ニ ヨル タイフショクセイ オヨビ タイマモウセイ ニ スグレタ DLCマク ノ カイハツ
  • Development of Anti-corrosive and Wear-resistant Diamond-like Carbon Film based on PBIID Technique

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