SACVD酸化膜による電気性能の改善
書誌事項
- タイトル別名
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- SACVD サンカマク ニ ヨル デンキ セイノウ ノ カイゼン
- Improving electrical performance using SACVD oxide films
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収録刊行物
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 5 (6), 25-29, 2008-06
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション