小型アクチュエータを用いた精密3軸位置決めステージ
書誌事項
- タイトル別名
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- コガタ アクチュエータ オ モチイタ セイミツ 3ジク イチギメ ステージ
- Precision Three-Axis Positioning Stage in Compact Size Employing Miniature Actuators
- 特集 マイクロCMMの最新技術
- トクシュウ マイクロ CMM ノ サイシン ギジュツ
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収録刊行物
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 88 (9), 668-672, 2022-09
東京 : 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520012093119049216
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 032391940
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL