フレキシブルファイバーコンディショナによる研磨パッドの表面性状再生法の「見える化」とそのメカニズム考察
書誌事項
- タイトル別名
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- フレキシブルファイバーコンディショナ ニ ヨル ケンマ パッド ノ ヒョウメン セイジョウ サイセイホウ ノ 「 ミエル カ 」 ト ソノ メカニズム コウサツ
- Visualization of novel polishing pad conditioning method by flexible fiber conditioner
- 特集 砥石や研磨パッドの成形とその効果
- トクシュウ トイシ ヤ ケンマ パッド ノ セイケイ ト ソノ コウカ
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収録刊行物
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 67 (2), 71-74, 2023-02
東京 : 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520013806528818048
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 032669740
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL