レジスト評価のためのシミュレーション技術
書誌事項
- タイトル別名
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- レジスト ヒョウカ ノ タメ ノ シミュレーション ギジュツ
- Simulation Technology for the Resist Evaluation
- 特集 フォトレジスト最前線
- トクシュウ フォトレジスト サイゼンセン
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収録刊行物
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- 機能材料
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機能材料 41 (12), 36-46, 2021-12
東京 : シーエムシー出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520014265793835392
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- NII書誌ID
- AN00360069
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- ISSN
- 02864835
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- NDL書誌ID
- 032722819
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDL
