Gravure & Interview 精密工学の最前線 次世代半導体製品および超高純度ダイヤモンドウエハの開発 : Orbray株式会社
書誌事項
- タイトル別名
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- Gravure & Interview セイミツ コウガク ノ サイゼンセン ジセダイ ハンドウタイ セイヒン オヨビ チョウコウジュンド ダイヤモンドウエハ ノ カイハツ : Orbray カブシキ ガイシャ
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収録刊行物
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 89 (5), 355-358, 2023-05
東京 : 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520015045382903808
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 032877701
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL